陶瓷激光切割加工的特性及方法

氧化锆陶瓷(原料:非金属矿物)激光切割加工是利用高 能量密度（单位:g/cm3或kg/m3)(108-1O10W/cm2)的均匀激光束（LASER)作为热源，在加工陶瓷材料(Material)表面局部点产生瞬时高温，局部点熔融或气化而去除材料。

氧化锆白色，含杂质时呈黄色或灰色，一般含有HfO2，不易分离。在常压下纯ZrO2共有三种晶态。氧化锆陶瓷的生产要求制备高纯、分散性能好、粒子超细、粒度分布窄的粉体，氧化锆超细粉末的制备方法很多，氧化锆的提纯主要有氯化和热分解法、碱金属氧化分解法、石灰熔融法、等离子弧法、沉淀法、胶体法、水解法、喷雾热解法等。激光加工是一种无接触、无摩擦式加工技术，加工过程中不需模具（称号：工业之 母），通过控制激光束在陶瓷材料表面的聚焦位置，实现对三维复杂形状材料的加工。陶瓷激光切割加工适合于在有机物和陶瓷等无机物材料上进行微钻孔、微分割、制作微结构。目前已能加工直径为4-5ｕM、深径比达10以上的微孔。氧化锆陶瓷生产要求制备高纯、分散性能好、粒子超细、粒度分布窄的粉体，氧化锆超细粉末的制备方法很多，氧化锆的提纯主要有氯化和热分解法、碱金属氧化分解法、 石灰熔融法、等离子弧法、沉淀法、胶体法、水解法、喷雾热解法等。通常所用激光源为CO2和Nd:YAG激光。

氧化锆陶瓷激光切割加工的特性：

1.由于激光（LASER)加工是将高平行度、高 能量密度（单位:g/cm3或kg/m3)的激光聚集到工件表面上来进行热加工所以激光光点的直径在理论上可达Iｕm以下，能进行非 常微细的加工

2.由于激光（LASER)加工的功率（指物体在单位时间内所做的功的多少）密度（单位:g/cm3或kg/m3)非 常高，可达 到1u/cm-以上，并能做得更高，故对那些用以往的方法难于加工的材料都 能用激光加

3.由于能把工件离开加工机，以适当的距离进行非接触式加工，所以不会感 染材料，另外加工变形及热变形也很小；

4.通过选择适当的加工条件能用同一装置进行打孔和焊合；

5.能通过透明体进行加工，

6.与电子束加工机相比，不需要真空，也不需要X射线进行防护，因此装置简单，工作性能良好!